基本信息:
- 专利标题: 용액공정을 이용한 산화물 박막 소결용 자외선 램프 장치
- 专利标题(英):Method for manufacturing metal-oxide thin film using low temperature process, thin film, and electric device thereof
- 申请号:KR1020120153255 申请日:2012-12-26
- 公开(公告)号:KR101456238B1 公开(公告)日:2014-11-13
- 发明人: 김영훈 , 오민석 , 김지완 , 박성규
- 申请人: 전자부품연구원 , 중앙대학교 산학협력단
- 申请人地址: 경기도 성남시 분당구 새나리로 ** (야탑동)
- 专利权人: 전자부품연구원,중앙대학교 산학협력단
- 当前专利权人: 전자부품연구원,중앙대학교 산학협력단
- 当前专利权人地址: 경기도 성남시 분당구 새나리로 ** (야탑동)
- 代理人: 특허법인 티앤아이
- 主分类号: H01L21/268
- IPC分类号: H01L21/268
摘要:
용액공정을 이용한 산화물 박막 소결용 자외선 램프 장치이 개시된다. 본 자외선 램프 장치는 샘플탑재부와 내부에 챔버 공간을 가지고 샘플탑재부를 에워싸는 구조를 갖는 하우징을 구비하되, 챔버 공간의 상부에는 샘플탑재부와 대향되게 형성되어 하부로 자외선을 조사하기 위한 자외선 램프부를 포함하고, 하우징의 일영역에는 상기 샘플탑재부의 탑재된 샘플에 상기 불활성가스를 주입하기 위한 불활성가스 주입부를 구비한다.
摘要(英):
Television UV lamps are provided for sintering the oxide thin film using a solution process. The ultraviolet lamp unit is a sample, but including a mounting portion and the housing has a structure surrounding the sample mounting portion has a chamber space therein, and includes the top of the chamber space, the sample is mounted portion formed to be opposite to the ultraviolet lamp unit for irradiating ultraviolet rays to the bottom and it is provided on the mounted sample of the sample mount portion inert gas inlet for introducing the inert gas, one region of the housing.
公开/授权文献:
- KR1020140084432A 용액공정을 이용한 산화물 박막 소결용 자외선 램프 장치 公开/授权日:2014-07-07
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
H | 电学 |
--H01 | 基本电气元件 |
----H01L | 半导体器件;其他类目未包含的电固体器件 |
------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
--------H01L21/02 | .半导体器件或其部件的制造或处理 |
----------H01L21/027 | ..未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜 |
------------H01L21/18 | ...器件有由周期表第Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体,如掺杂材料 |
--------------H01L21/26 | ....用波或粒子辐射轰击的 |
----------------H01L21/263 | .....带有高能辐射的 |
------------------H01L21/268 | ......应用电磁辐射的,例如激光辐射 |