基本信息:
- 专利标题： 기판 검사장치
- 专利标题（英）：inspection apparatus for substrate
- 专利标题（中）：基板检查装置
- 申请号：KR1020120126805 申请日：2012-11-09
- 公开(公告)号：KR101436573B1 公开(公告)日：2014-09-03
- 发明人： 강민구 , 이현민 , 이상윤
- 申请人： (주) 인텍플러스
- 申请人地址： 대전광역시 유성구 테크노*로 *** (탑립동)
- 专利权人： (주) 인텍플러스
- 当前专利权人： (주) 인텍플러스
- 当前专利权人地址： 대전광역시 유성구 테크노*로 *** (탑립동)
- 代理人： 특허법인 신지
- 主分类号： G01N21/88
- IPC分类号： G01N21/88 ; G01B11/30
摘要：
본 발명은 트레이에 기판을 수납한 상태에서, 관측영역(FOV)별로 초점을 조절한 뒤 비전검사가 이루어지도록 하는 기판 검사장치에 관한 것으로, 트레이의 상부에 배치되고, 상기 트레이에 수납된 기판의 영상을 획득하는 촬영유닛과, 상기 트레이의 상부에 배치되고, 상기 트레이에 수납된 기판과의 거리를 측정하는 측정부와, 상기 측정부를 통해 측정된 상기 기판의 거리 정보를 기초로, 상기 촬영유닛의 초점을 조절하는 초점 조절부를 포함한다.
摘要（英）：
The present invention in a housing a substrate to a tray state, relates to a substrate inspection apparatus for inspecting the back to adjust the focus by observation region (FOV) vision is to occur, is arranged on the top of the tray, of the substrate accommodated in the tray and a photographing unit to obtain the image, and arranged on top of said tray, and a measuring unit which measures the distance to the accommodated substrate to the tray, with the basis of the distance information of the substrate measured through the above measurement, the photographing unit It comprises parts of the focus control to adjust the focus.
公开/授权文献:
- KR1020140060113A 기판 검사장치 公开/授权日：2014-05-19
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N21/00 | 利用光学手段，即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料 |
| --------G01N21/01 | .便于进行光学测试的装置或仪器 |
| ----------G01N21/88 | ..测试瑕疵、缺陷或污点的存在 |