基本信息:
- 专利标题： 유체 제어 장치
- 专利标题（英）：Fluid control apparatus
- 专利标题（中）：流体控制装置
- 申请号：KR1020120086795 申请日：2012-08-08
- 公开(公告)号：KR101422916B1 公开(公告)日：2014-07-23
- 发明人： 구리키하루히코 , 마츠다다카히로 , 고요모기무츠노리 , 마키노메구무
- 申请人： 가부시키가이샤 후지킨
- 申请人地址： 일본 오사카후 오사카시 니시쿠 이타치보리 *-*-*
- 专利权人： 가부시키가이샤 후지킨
- 当前专利权人： 가부시키가이샤 후지킨
- 当前专利权人地址： 일본 오사카후 오사카시 니시쿠 이타치보리 *-*-*
- 代理人： 송승필
- 优先权： JPJP-P-2011-175042 2011-08-10
- 主分类号： H01L21/02
- IPC分类号： H01L21/02
摘要：
대칭형으로 배치된 동일 형상의 2개의 개폐 밸브(2, 3)를 갖고 있다. 각 개폐 밸브(2, 3)의 출구에, 서로 평행하게 되도록 동일한 길이의 유체 배출 통로(6, 7, 11, 12)가 마련되어 있다. 2개의 유체 배출 통로(6, 7, 11, 12)의 출구에, 각 유체 배출 통로(6, 7, 11, 12)에 통하는 동일한 길이의 유체 통로(25, 26)를 가지며 챔버에 부착 가능한 접속 부재(10)가 부착되어 있다.
摘要（中）：
关闭对称布置的相同形状的阀2和3。 在相应的开关阀（2,3）的出口处设置相同长度的流体排出通道（6,7,11,12）以便彼此平行。 在两个流体排出通道（6,7,11,12）的出口处与每个流体排出通道（6,7,11,12）连通的具有相同长度的流体通道（25,26） 会员10被连接。
摘要（英）：
Has two opening and closing valves of the same shape arranged in a symmetrical (2, 3). The outlet of each opening and closing valve (2, 3), a fluid exit (6, 7, 11, 12) of equal length provided so as to be parallel to each other. 2 at the outlet of the fluid exit (6, 7, 11, 12), has the same length of the fluid passage (25, 26) through each of the fluid discharge passage (6, 7, 11, 12) connectable attached to the chamber member 10 is attached.
公开/授权文献:
- KR1020130018147A 유체 제어 장치 公开/授权日：2013-02-20
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L21/02 | .半导体器件或其部件的制造或处理 |