基本信息:
- 专利标题: 핸들러 및 부품 검사 장치
- 专利标题(英):Handler and part inspection apparatus
- 专利标题(中):处理程序和零件检查设备
- 申请号:KR1020120098249 申请日:2012-09-05
- 公开(公告)号:KR101384823B1 公开(公告)日:2014-04-16
- 发明人: 하세가와노부오 , 후지모리히로아끼 , 시모지마도시오끼
- 申请人: 세이코 엡슨 가부시키가이샤
- 申请人地址: *-*, Shinjuku *-chome, Shinjuku-ku, Tokyo, Japan
- 专利权人: 세이코 엡슨 가부시키가이샤
- 当前专利权人: 세이코 엡슨 가부시키가이샤
- 当前专利权人地址: *-*, Shinjuku *-chome, Shinjuku-ku, Tokyo, Japan
- 代理人: 양영준; 이중희
- 优先权: JPJP-P-2011-193666 2011-09-06
- 主分类号: G01R31/26
- IPC分类号: G01R31/26 ; H01L21/66 ; H01L21/67
摘要:
개구부를 갖는 베이스와, 반송 대상물을 반송하는 제1 핸드와, 제1 핸드를 개구부의 상방에 반송하여 내리는 제1 반송부와, 반송 대상물을 반송하는 제2 핸드와, 제2 핸드를 개구부의 상방에 반송하여 내리는 제2 반송부와, 제1 반송부의 동작과 제2 반송부의 동작을 제어하는 제어부를 구비하는 핸들러이며, 제1 핸드와 제2 핸드가 개구부의 상방을 향하여 서로 근접시켜 개구부에 나란히 배치되는 상태를 갖는다.
摘要(中):
第一只手用于运送待运送物体,第一运送部件用于将第一只手运送到开口的上方和上方,用于运送运送物体的秒针,用于运送运送物体的秒针, 以及控制单元,其用于控制所述第一传送单元和所述第二传送单元的操作,其中,所述第一手和所述第二手在所述开口的向上方向上彼此靠近地布置, 如图所示。
摘要(英):
And the base having an opening, and the first hand for conveying a conveying object comprising: a first conveyance section of the first hand making conveyed above the opening, and a second hand for conveying a conveying object, the upper portion of the second hand aperture second transport section to transport down to the first and the handler that a control section for carrying control of operations of the second transport of operations, the first hand and the second hand is close to each other toward the upper side of the opening by side by side in the opening has a state disposed.
公开/授权文献:
- KR1020130026994A 핸들러 및 부품 검사 장치 公开/授权日:2013-03-14
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
G | 物理 |
--G01 | 测量;测试 |
----G01R | 测量电变量;测量磁变量(通过转换成电变量对任何种类的物理变量进行测量参见G01类名下的 |
------G01R31/00 | 电性能的测试装置;电故障的探测装置;以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置 |
--------G01R31/26 | .单个半导体器件的测试 |