基本信息:
- 专利标题： 온도분포 측정장치
- 专利标题（英）：Appratus For Measuring Temperature Distribution
- 专利标题（中）：测量温度分布的设置
- 申请号：KR1020100132630 申请日：2010-12-22
- 公开(公告)号：KR101350976B1 公开(公告)日：2014-01-14
- 发明人： 유선영 , 최해룡 , 장기수 , 김건희 , 양순철
- 申请人： 한국기초과학지원연구원
- 申请人地址： 대전광역시 유성구 과학로 ***-*** (어은동)
- 专利权人： 한국기초과학지원연구원
- 当前专利权人： 한국기초과학지원연구원
- 当前专利权人地址： 대전광역시 유성구 과학로 ***-*** (어은동)
- 代理人： 정태훈; 배성호; 진수정; 오용수
- 主分类号： G01N21/17
- IPC分类号： G01N21/17 ; G01K11/00 ; G01J5/08
摘要：
본 발명은 3차원 구조를 가지는 시료에 대한 온도분포를 비접촉식으로 측정할 수 있는 온도분포 측정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 색분산 렌즈, 회절분광기, 광검출 어레이를 이용하여 시료의 깊이 방향(Z방향)의 온도분포를 열반사법으로 측정하고, 2축 주사 거울을 이용하여 시료의 평행방향(xy 축 방향)의 온도분포를 열반사법으로 측정함으로써 시료의 3차원 온도분포를 측정할 수 있도록 한 온도분포 측정장치를 제공한다.
摘要（英）：
The present invention the temperature distribution for a sample having a three-dimensional structure relates to a temperature distribution measuring device that can measure a non-contact, and more particularly, the depth of the sample by using a dispersion lens, diffraction spectrometer, a light detecting array direction ( measuring the temperature distribution in the Z direction) as Buddha of justice, and a so by measuring the temperature distribution of the two-axis direction parallel to the sample using a scanning mirror (xy direction) in the Buddha law can measure the three-dimensional temperature distribution of the sample It provides a temperature distribution measuring device.
公开/授权文献:
- KR1020120071048A 온도분포 측정장치 公开/授权日：2012-07-02
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N21/00 | 利用光学手段，即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料 |
| --------G01N21/17 | .入射光根据所测试的材料性质而改变的系统 |