基本信息:
- 专利标题： 전사체 및 그의 제조방법
- 专利标题（英）：Transfer body and method for producing the same
- 专利标题（中）：转运体及其生产方法
- 申请号：KR1020117022552 申请日：2010-02-25
- 公开(公告)号：KR101336532B1 公开(公告)日：2013-12-03
- 发明人： 스나가다다히로 , 오다다카시 , 오니시히토시
- 申请人： 미쓰이 가가쿠 가부시키가이샤
- 申请人地址： *-*-*, Higashi-Shimbashi, Minato-ku, Tokyo, Japan
- 专利权人： 미쓰이 가가쿠 가부시키가이샤
- 当前专利权人： 미쓰이 가가쿠 가부시키가이샤
- 当前专利权人地址： *-*-*, Higashi-Shimbashi, Minato-ku, Tokyo, Japan
- 代理人： 제일특허법인
- 优先权： JPJP-P-2009-046122 2009-02-27
- 国际申请： PCT/JP2010/001271 2010-02-25
- 国际公布： WO2010098102 2010-09-02
- 主分类号： H01L21/027
- IPC分类号： H01L21/027 ; C08G61/08
摘要：
본 발명의 전사체는, 몰드 표면의 미세 패턴이 전사되어 있고, 화학식 1로 표시되는 반복 구조 단위를 함유하고, 또한 불소 원자 함유율이 40∼75질량%인 불소 함유 환상 올레핀 폴리머로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
[화학식 1]
摘要（英）：
[화학식 1]
Transcripts of the present invention, and the fine pattern of the mold surface is transferred, characterized in that contains a repeating structural unit represented by the formula (1), and also the fluorine atom content is made of a fluorine-containing cycloolefin polymer 40-75% by weight do.
Formula 1
公开/授权文献:
- KR1020110129930A 전사체 및 그의 제조방법 公开/授权日：2011-12-02
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L21/02 | .半导体器件或其部件的制造或处理 |
| ----------H01L21/027 | ..未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜 |