基本信息:
- 专利标题: 회전형 스위칭 밸브
- 专利标题(英):Rotary switching valve
- 专利标题(中):旋转开关阀
- 申请号:KR1020100022571 申请日:2010-03-15
- 公开(公告)号:KR101312386B1 公开(公告)日:2013-10-15
- 发明人: 오자와,유키오 , 야지마,다카시 , 오카베,츠네유키 , 오쿠라,시게유키
- 申请人: 씨케이디 가부시키 가이샤 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
- 申请人地址: 일본 아이치켄 코마키시 오우지 *-초메 ***
- 专利权人: 씨케이디 가부시키 가이샤,도쿄엘렉트론가부시키가이샤
- 当前专利权人: 씨케이디 가부시키 가이샤,도쿄엘렉트론가부시키가이샤
- 当前专利权人地址: 일본 아이치켄 코마키시 오우지 *-초메 ***
- 代理人: 특허법인세림
- 优先权: JPJP-P-2009-063062 2009-03-16
- 主分类号: F16K11/085
- IPC分类号: F16K11/085 ; F16K5/04 ; H01L21/205 ; F16K37/00
해결수단: 프로세스 가스가 흐르는 챔버 연통로(24)와 주요 유체가 배기되는 벤트 연통로(25)가 형성된 밸브 본체(2) 및 밸브 본체(2)에 회전가능하게 유지되며 내부에 주요유체가 흐르는 주요 유로(31)가 형성된 원통형 밸브 부재(3)를 포함하며, 원통형 밸브 부재(3)를 회전시켜서 주요 유로(31)와 챔버 연통로(24) 및 벤트 연통로(25) 사이의 연결을 전환 가능한 회전형 스위칭 밸브(2)에 있어서, 밸브 본체(2)와 원통형 밸브 부재(3) 사이의 간극부(11)에 퍼지 가스를 공급하는 퍼지 가스 유로(22a, 22b, 22c, 22d, 22e)를 포함하며, 간극부(11)로 퍼지 가스를 공급하여 주요 유체가 주요 유로(31)에서 누출되는 것을 방지한다.
Challenge: to prevent the fluid from leaking from the main opening part.
Solution means: rotatably held in the process in the gas chamber in communication flows 24 and the main fluid is formed with a vent communicating with the exhaust 25, the valve body 2 and the valve body (2) and flowing through the main fluid to the interior switch the connection between the main flow path 31 comprising a cylindrical valve member (3) is formed, the cylindrical valve member (3) rotated by the main passage 31 and the chamber communicates with the 24 and to vent communication passage (25) in the possible rotary switching valve 2, the valve body 2 and the cylindrical valve member (3), the gap portion 11, purge the purge gas flow channel (22a, 22b, 22c, 22d, 22e) for supplying gas to between It includes, by supplying the purge gas to the gap portion 11 to prevent the fluid from leaking from the main primary flow path 31.
公开/授权文献:
- KR1020100105417A 회전형 스위칭 밸브 公开/授权日:2010-09-29
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
F | 机械工程;照明;加热;武器;爆破 |
--F16 | 工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热 |
----F16K | 阀;龙头;旋塞;致动浮子;通风或充气装置 |
------F16K11/00 | 多通阀,如混合阀;装有这种阀的管件;阀和专门适用于混合流体的流送管配置 |
--------F16K11/02 | .所有可移动的密封面作为一个单元移动 |
----------F16K11/04 | ..只包含提升阀 |
------------F16K11/085 | ...带有圆柱形塞子 |