基本信息:
- 专利标题： 미세패턴 전극의 제조방법
- 专利标题（英）：Manufacturing method of micro-patterned electrode
- 专利标题（中）：微型电极的制造方法
- 申请号：KR1020100132502 申请日：2010-12-22
- 公开(公告)号：KR101297579B1 公开(公告)日：2013-08-19
- 发明人： 김효태 , 김종희 , 김지훈 , 윤영준
- 申请人： 한국세라믹기술원
- 申请人地址： 경상남도 진주시 소호로 *** (충무공동, 부속건물세라믹소재종합지원센터)
- 专利权人： 한국세라믹기술원
- 当前专利权人： 한국세라믹기술원
- 当前专利权人地址： 경상남도 진주시 소호로 *** (충무공동, 부속건물세라믹소재종합지원센터)
- 代理人： 이훈; 이두희
- 主分类号： G03F7/004
- IPC分类号： G03F7/004 ; H05K1/09 ; H05K3/12
摘要：
본 발명은 기판에의 접착력이 증가되고 배선의 전기저항이 감소된 미세패턴 전극의 제조방법을 개시하며, 이를 위하여 감광성 세라믹 기판을 노광 및 현상하여 이의 상면에 함몰된 소정 폭 및 깊이의 트렌치 채널을 형성하는 단계와, 상기 감광성 세라믹 기판의 상면 전체에 감광성 전극 페이스트를 도포 및 건조하는 단계와, 노광 및 현상하여 하부가 상기 트렌치 채널에 충전되고 상부가 상기 감광성 세라믹 기판상에 돌출된 전극패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
摘要（英）：
The present invention discloses a method for producing the adhesive force of the substrate increases and decreases the electric resistance of the wiring for fine pattern electrode, exposing and developing a photosensitive ceramic substrate to this by the trench channel of predetermined width and depth of the depression in its upper surface forming, comprising the steps of coating and drying a photosensitive electrode paste to the upper surface of the total of the photosensitive ceramic substrate, exposing and developing the lower is filled in the trench channel top portion is formed an electrode pattern projected onto the photosensitive ceramic substrate It includes the step of.
公开/授权文献:
- KR1020120070954A 미세패턴 전극의 제조방법 公开/授权日：2012-07-02