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로봇 및 그 교시 방법
基本信息:
摘要：
본 발명에 따른 로봇 제어 유닛(40)은, 핸드(25) 상에 웨이퍼(50)를 위치시킨 상태에서 웨이퍼(50)에 대한 보유지지 유닛(60)을 오프로 하도록 구성되고, 핸드(25)를 미리 주어진 잠정의 재치 위치 보다 높은 초기 위치로부터 잠정의 재치 위치의 방향을 향해 소정 거리 만큼 강하시킨다. 이어, 로봇 제어 유닛(40)은 핸드(25)를 정지시킨 상태에서 보유지지 유닛(60)을 오프 상태로부터 온 상태로 절환하고, 유지 상태 검출 유닛(63)을 이용하는 것에 의해 웨이퍼(50)가 보유지지 유닛(60)에 의해 보유지지되어 있는지 아닌지를 판정한다. 웨이퍼(50)가 보유지지 유닛(60)에 의해 보유지지되어 있는 것으로 판정된 경우, 로봇 제어 유닛(40)은 보유지지 유닛(60)을 오프로 하고 핸드(25)를 소정 거리만큼 더 강하시킨다. 한편, 웨이퍼(50)가 보유지지 유닛(60)에 의해 보유지지되어 있지 않은 것으로 판정된 경우, 로봇 제어 유닛(40)은 그 시점에서의 핸드(25)의 위치를 정규의 재치 위치로서 검출한다.
摘要（英）：

The robot control unit 40 according to the present invention, in a state in which the position of the wafer 50 on the hand 25 is configured to the hold-down unit 60 on the wafer 50 is turned off, the hand 25 towards the direction of the mounting position of the provisional initial position from the higher position than the wit of a given provisional advance then drop by a predetermined distance. Next, the robot control unit 40 includes a wafer by, and switching the holding unit 60 in the state stopping the hand 25 to the ON state from the OFF state, using a holding-state detecting unit 63 (50) it is determined whether or not the hold is held by the holding unit (60). If it is determined that the hold-down by the wafer 50, the holding unit 60, the robot control unit 40 further drops, and the holding unit 60 to off by the predetermined hand-25 distance . On the other hand, if it is judged that is not held by the wafer 50, the holding unit 60, the robot control unit 40 detects the position of the hand 25 at that point of time as a normal mounted position of the .

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