基本信息:
- 专利标题: 폐 루테늄(Ru) 타겟을 이용한 초고순도 루테늄(Ru) 분말 및 타겟의 제조방법
- 专利标题(英):Manufacturing method of a high purity Ru powder and target using a waste Ru target
- 专利标题(中):使用废Ru目标的高纯度Ru粉末和靶材的制造方法
- 申请号:KR1020110038916 申请日:2011-04-26
- 公开(公告)号:KR101285284B1 公开(公告)日:2013-07-11
- 发明人: 윤원규 , 양승호 , 홍길수
- 申请人: 희성금속 주식회사
- 申请人地址: 인천광역시 서구 가재울로 ** (가좌동)
- 专利权人: 희성금속 주식회사
- 当前专利权人: 희성금속 주식회사
- 当前专利权人地址: 인천광역시 서구 가재울로 ** (가좌동)
- 代理人: 신관호
- 主分类号: B22F8/00
- IPC分类号: B22F8/00 ; B22F9/14 ; B22F9/04 ; B22F3/12
이를 개선하기 위해서, 폐 루테늄(Ru) 타겟의 표면을 화학적 또는 기계적인 방법으로 표면의 이물질 등을 간단히 제거하고, 플라즈마를 이용하여 루테늄(Ru) 분말 제조, 열처리 및 분쇄에 의해 미세한 고순도의 루테늄(Ru) 분말 제조, 소결을 이용하여 고밀도의 루테늄(Ru) 타겟을 얻는 것을 특징으로 한다.
The invention lung ruthenium (Ru) ultra high purity ruthenium powder with a target, and relates to a method of manufacturing the target, a long time and high cost incurred in preparing the melt and the powder of the lung targeted using chemicals in the manufacture using a conventional wet method and, it is designed to overcome the drawbacks of environmental pollution such as wastewater treatment according to the amount of chemicals used.
In order to improve this, the closed-ruthenium (Ru), the target surface is chemically or mechanically simply removing such foreign materials on the surface and, using a plasma fine by the ruthenium (Ru) powder production, heat treatment, and pulverizing high-purity ruthenium ( Ru) powder prepared by using a sintering characterized in that to obtain a ruthenium (Ru) of a high density target.
公开/授权文献:
- KR1020120121131A 폐 루테늄(Ru) 타겟을 이용한 초고순도 루테늄(Ru) 분말 및 타겟의 제조방법 公开/授权日:2012-11-05
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
B | 作业;运输 |
--B22 | 铸造;粉末冶金 |
----B22F | 金属粉末的加工;由金属粉末制造制品;金属粉末的制造 |
------B22F8/00 | 从废屑或金属颗粒制造物品 |