基本信息:
- 专利标题： 기판 상에 형성된 반원통 어레이의 그래포에피택셜 자기 조립
- 专利标题（英）：Graphoepitaxial self-assembly of arrays of half-cylinders formed on a substrate
- 专利标题（中）：在基板上形成的半圆柱体阵列的自由自组装
- 申请号：KR1020107027059 申请日：2009-04-20
- 公开(公告)号：KR101284422B1 公开(公告)日：2013-07-09
- 发明人： 밀워드,댄,비. , 웨스트모어랜드,도날드
- 申请人： 마이크론 테크놀로지, 인크.
- 申请人地址： **** South Federal Way, Boise, ID, U.S.A.
- 专利权人： 마이크론 테크놀로지, 인크.
- 当前专利权人： 마이크론 테크놀로지, 인크.
- 当前专利权人地址： **** South Federal Way, Boise, ID, U.S.A.
- 代理人： 양영준; 백만기
- 优先权： US12/114,173 2008-05-02
- 国际申请： PCT/US2009/041125 2009-04-20
- 国际公布： WO2009134635 2009-11-05
- 主分类号： B82B3/00
- IPC分类号： B82B3/00 ; B81C1/00
摘要：
자기 조립 블록 공중합체를 이용하여 라인 어레이에 서브리소그래픽 나노 크기의 미소구조를 제조하는 방법과, 이 방법으로 형성된 막 및 디바이스가 제공된다.
摘要（英）：
Method for producing a micro-structure of the sub-lithographic nanoscale the line array, and the film formed by this method and device is provided by using the self-assembled block copolymer.
公开/授权文献:
- KR1020110007612A 기판 상에 형성된 반원통 어레이의 그래포에피택셜 자기 조립 公开/授权日：2011-01-24
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B82 | 超微技术 |
| ----B82B | 超微结构；超微结构的制造或处理 |
| ------B82B3/00 | 超微结构的制造或处理 |