基本信息:
- 专利标题： 고밀도 핫 스팟을 가지는 플라즈모닉 나노필러 어레이를 포함하는 표면강화 라만 분광기판 및 그 제조방법
- 专利标题（英）：Sers substrate and manufacture method thereof comprising plasmonic nanopillar arrays with high density hot spots
- 专利标题（中）：SERS基板及其制造方法，包括高密度HOT SPOTS的等离子体纳米阵列
- 申请号：KR1020110125805 申请日：2011-11-29
- 公开(公告)号：KR101272316B1 公开(公告)日：2013-06-07
- 发明人： 정기훈 , 오영재
- 申请人： 한국과학기술원
- 申请人地址： 대전광역시 유성구 대학로 ***(구성동)
- 专利权人： 한국과학기술원
- 当前专利权人： 한국과학기술원
- 当前专利权人地址： 대전광역시 유성구 대학로 ***(구성동)
- 代理人： 이원희
- 主分类号： G01N21/65
- IPC分类号： G01N21/65 ; B82B3/00 ; G01J3/44
摘要：
PURPOSE: An SERS with plasmonic nanopillar array and a manufacturing method thereof are provided to form metallic structures with a plurality of nanogaps in the upper and lateral surfaces of nanopillars, thereby maximizing the SERS signals. CONSTITUTION: A manufacturing method of an SERS(Surface Enhanced Raman Scattering Substrate)(10) is as follows. A primary metal thin film(12) is deposited on a substrate so that at least one or more metallic nanoislands. The rest of the metallic nanoislands, except for portions where the nanoislands are formed, are etched by an etching mask so that nanopillar structures(13) are formed. A secondary metal thin film(14) is deposited on the each of the nanopillar structures so that one or more metallic nanoislands are formed in the upper and lateral units of the nanopillar structures.
摘要（中）：
目的：提供具有等离子体纳米柱阵列的SERS及其制造方法，以在纳米柱的上表面和侧表面形成具有多个纳米角的金属结构，从而最大化SERS信号。 构成：SERS（表面增强拉曼散射基板）（10）的制造方法如下。 将初级金属薄膜（12）沉积在基板上，使得至少一个或多个金属纳米区域。 除了形成纳米级区域的部分之外，金属纳米结构体的其余部分通过蚀刻掩模进行蚀刻，从而形成纳米柱结构（13）。 二次金属薄膜（14）沉积在每个纳米柱结构上，使得在纳米柱结构的上部和外侧单元中形成一个或多个金属纳米级。
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N21/00 | 利用光学手段，即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料 |
| --------G01N21/01 | .便于进行光学测试的装置或仪器 |
| ----------G01N21/63 | ..光学激发的 |
| ------------G01N21/65 | ...喇曼散射 |