基本信息:
- 专利标题： 인라인 열처리 장치
- 专利标题（英）：In-line type heat treatment apparatus
- 专利标题（中）：在线热处理系统
- 申请号：KR1020110058101 申请日：2011-06-15
- 公开(公告)号：KR101258621B1 公开(公告)日：2013-04-30
- 发明人： 이병일
- 申请人： 주식회사 테라세미콘
- 申请人地址： 경기 화성시 동탄면 경기동로 ***-**,
- 专利权人： 주식회사 테라세미콘
- 当前专利权人： 주식회사 테라세미콘
- 当前专利权人地址： 경기 화성시 동탄면 경기동로 ***-**,
- 代理人： 특허법인 수
- 主分类号： H01L21/324
- IPC分类号： H01L21/324
摘要：
인라인 열처리 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 인라인 열처리 장치는, 열팽창을 고려하여 상호 인접하는 가열로가 상호 간격을 가지고, 상호 인접하는 가열로 사이는 실링된다. 따라서, 수리가 필요한 어느 하나의 가열로의 양측면을 지그로 집어서, 분리해 낼 수 있으므로, 유지 보수가 간편한 효과가 있다. 그리고, 각 가열로의 상면 또는 후면을 개방할 수 있으므로, 더욱 유지 보수가 간편한 효과가 있다.
摘要（中）：
公开了一种内联热处理设备。 在根据本发明的在线热处理设备中，考虑到热膨胀，彼此相邻的加热炉具有相互间隙并且被密封在彼此相邻的加热炉之间。 因此，可以收集和分离需要修理的一个加热炉的两侧，从而易于维护。 此外，由于每个加热炉的上表面或后表面可以打开，所以具有维护进一步简化的效果。
摘要（英）：
The in-line heat treatment system is disclosed. In-line heat treatment system according to the present invention, in consideration of the thermal expansion that the furnace adjacent to each other have a mutual spacing, between the heating furnace which is adjacent to each other are sealed. So, pick the opposite side to the one of the heating needed to be repaired by a jig, it can be separated, it is easy to maintenance effectiveness. And, it is possible to open the upper surface or rear surface of each heating, the more maintenance-easy effect.
公开/授权文献:
- KR1020120138542A 인라인 열처리 장치 公开/授权日：2012-12-26
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L21/02 | .半导体器件或其部件的制造或处理 |
| ----------H01L21/027 | ..未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜 |
| ------------H01L21/18 | ...器件有由周期表第Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体，如掺杂材料 |
| --------------H01L21/26 | ....用波或粒子辐射轰击的 |
| ----------------H01L21/324 | .....用于改善半导体材料性能的热处理，例如退火、烧结 |