基本信息:
- 专利标题： 정전용량형 전기기계 변환소자 및 그 제조방법
- 专利标题（英）：Capacitive electro-mechanical transducer, and fabrication method of the same
- 专利标题（中）：电容式机电传感器及其制造方法
- 申请号：KR1020100042738 申请日：2010-05-07
- 公开(公告)号：KR101248857B1 公开(公告)日：2013-03-29
- 发明人： 소에다야스히로
- 申请人： 캐논 가부시끼가이샤
- 申请人地址： **-*, Shimomaruko *-chome, Ohta-ku, Tokyo, Japan
- 专利权人： 캐논 가부시끼가이샤
- 当前专利权人： 캐논 가부시끼가이샤
- 当前专利权人地址： **-*, Shimomaruko *-chome, Ohta-ku, Tokyo, Japan
- 代理人： 권태복
- 优先权： JPJP-P-2009-113105 2009-05-08
- 主分类号： H01L41/22
- IPC分类号： H01L41/22 ; B06B1/06 ; A61B8/00
摘要：
정전용량형 전기기계 변환소자는, 복수의 캐비티, 그 캐비티간을 서로 연결하는 연락부, 각 캐비티를 끼운 2개의 전극을 구비한다. 상기 캐비티들은, 외부에서 봉지되어 있고, 상기 연락부의 적어도 일부는 닫혀서 상기 연락부를 통해 상기 캐비티간의 연통을 차단한다.
摘要（英）：
Capacitive electro-mechanical conversion element has a plurality of cavities, each contact connected between its cavity part, and provided with two electrodes sandwiching a respective cavity. The cavities are, is sealed from the outside, and blocks the communication between the cavities through the communication portion is closed so at least some parts of the contact.
公开/授权文献:
- KR1020100121433A 정전용량형 전기기계 변환소자 및 그 제조방법 公开/授权日：2010-11-17
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H04 | 电通信技术 |
| ----H04R | 扬声器、送话器、唱机拾音器或类似的传感器 |
| ------H01L41/22 | .专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备 |