基本信息:
- 专利标题: 고해상도 이미징
- 专利标题(英):High resolution imaging
- 专利标题(中):高分辨率成像
- 申请号:KR1020067024879 申请日:2005-04-15
- 公开(公告)号:KR101226210B1 公开(公告)日:2013-01-28
- 发明人: 로덴버그,존마리우스 , 포크너,헬렌메리루이즈
- 申请人: 페이즈 포커스 리미티드
- 申请人地址: ** Leavygreave Road, Sheffield, S* *RD, United Kingdom
- 专利权人: 페이즈 포커스 리미티드
- 当前专利权人: 페이즈 포커스 리미티드
- 当前专利权人地址: ** Leavygreave Road, Sheffield, S* *RD, United Kingdom
- 代理人: 권혁수; 오세준; 송윤호
- 优先权: GB04095725 2004-04-29
- 国际申请: PCT/GB2005/001464 2005-04-15
- 国际公布: WO2005106531 2005-11-10
- 主分类号: G01T1/29
- IPC分类号: G01T1/29 ; G01T1/00
摘要:
대상물의 영역의 고해상도 이미지를 구성하기 위해 사용될 수 있는 이미지 데이터를 제공하기 위한 방법 및 장치가 제공된다. 이 방법은 복사선 소스로부터 대상물에 입사 복사선을 제공하고, 적어도 하나의 검출기를 통해 대상물에 의해 산란된 복사선의 세기를 측정한 후, 대상물에 대해 입사 복사선 또는 대상물-이후 조리개의 고해상도 정렬함이 없이, 측정된 세기에 상응하는 이미지 데이터를 제공하는 단계를 포함한다.
이미징, 고해상도, 현미경
摘要(英):
이미징, 고해상도, 현미경
A method and apparatus for providing image data which may be used to configure a high resolution image of a region of an object is provided. This method provides the incident radiation on the object from the radiation source, and then through the at least one detector measures the intensity of the radiation scattered by the object, incident radiation or object to the object - without high-resolution alignment after the aperture, and a step of providing image data corresponding to the measured intensity. Imaging, high-resolution microscope
公开/授权文献:
- KR1020070005003A 고해상도 이미징 公开/授权日:2007-01-09
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
G | 物理 |
--G01 | 测量;测试 |
----G01T | 核辐射或X射线辐射的测量 |
------G01T1/00 | X射线辐射、γ射线辐射、微粒子辐射或宇宙线辐射的测量 |
--------G01T1/29 | .对辐射束流的测量,例如,测量射束位置或截面;辐射的空间分布的测量 |