基本信息:
- 专利标题： 기화기 및 이를 이용한 각종 장치와 기화 방법
- 专利标题（英）：Carburetor, various types of devices using the carburetor, and method of vaporization
- 专利标题（中）：CARBURETOR，各种使用碳酸氢机的设备类型和蒸发方法
- 申请号：KR1020037009560 申请日：2002-01-18
- 公开(公告)号：KR100881681B1 公开(公告)日：2009-02-06
- 发明人： 도다마사유키 , 구스하라마사키 , 우메다마사루 , 후카가와미츠루
- 申请人： 도다 마사유키 , 가부시키가이샤 와타나베 쇼코
- 申请人地址： ***-**, Kakunai *-chome, Nihonmatsu-shi, Fukushima, Japan
- 专利权人： 도다 마사유키,가부시키가이샤 와타나베 쇼코
- 当前专利权人： 도다 마사유키,가부시키가이샤 와타나베 쇼코
- 当前专利权人地址： ***-**, Kakunai *-chome, Nihonmatsu-shi, Fukushima, Japan
- 代理人： 방해철; 김용인
- 优先权： JPJP-P-2001-00010827 2001-01-18; JPJP-P-2001-00392833 2001-11-18
- 国际申请： PCT/JP2002/000330 2002-01-18
- 国际公布： WO2002058141 2002-07-25
- 主分类号： H01L21/205
- IPC分类号： H01L21/205
분산부 본체(1)의 내부에 형성된 가스 통로(2)와, 가스 통로(2)에 가압된 캐리어 가스(3)를 도입하는 가스 도입구(4)와, 가스 통로(2)를 통과하는 캐리어 가스에 원료용액(5)을 공급하기 위한 수단(6)과, 분산된 원료용액(5)을 포함하는 캐리어 가스를 기화부(22)에 보내기 위한 가스출구(7)와, 가스 통로(2)내를 흐르는 것을 냉각하는 수단(18)을 가지는 분산부(8)와, 장치의 반응부와 분산부(8)의 가스출구(7)에 접속된 기화관(20)과, 기화관(20)을 가열하는 히터(21)를 가지고, 원료용액이 분산된 캐리어 가스를 가열·기화시키는 기화부(22)를 가지고, 가스출구(7)의 외측에 미세한 홀(101)을 가지는 복사방지부(102)를 만들고 있다.
기화기
The invention can be used long term without occur such as clogging of the filter, and an object thereof is to provide a stable supply of the raw material vaporizer capable of reaction parts. And distribution unit main body (1) introduction of gas for introducing the gas passage (2), a carrier gas (3) the pressure in the gas passage (2) formed in the sphere (4), the carrier passing through the gas passage (2) means for supplying a raw material solution (5) to the gas (6) and the gas outlet 7 and the gas passage for sending the carrier gas containing dispersed raw material solution 5 to the vaporizing section 22. (2) and a distribution unit (8) having means (18) for cooling the flowing through, the evaporator tube (20) connected to the gas outlet (7) of the reaction section of the apparatus and the distribution unit (8), and evaporator tube 20 has a heater 21 for heating, has a vaporizing section 22 for heating and vaporizing a raw material solution dispersed carrier gas, the copy protection part (102 having a fine hole (101) on the outside of the gas outlet (7) ) the making. carburetor
公开/授权文献:
- KR1020030091968A 기화기 및 이를 이용한 각종 장치와 기화 방법 公开/授权日：2003-12-03
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L21/02 | .半导体器件或其部件的制造或处理 |
| ----------H01L21/027 | ..未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜 |
| ------------H01L21/18 | ...器件有由周期表第Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体，如掺杂材料 |
| --------------H01L21/20 | ....半导体材料在基片上的沉积，例如外延生长 |
| ----------------H01L21/205 | .....应用气态化合物的还原或分解产生固态凝结物的，即化学沉积 |