基本信息:
- 专利标题： 나노입자의 적층 구조 및 그 제조 방법
- 专利标题（英）：Layer-builting structure of the nanoparticle, and a manufacturing method of the same
- 专利标题（中）：纳米颗粒的层叠结构及其制造方法
- 申请号：KR1020050013900 申请日：2005-02-19
- 公开(公告)号：KR100707183B1 公开(公告)日：2007-04-13
- 发明人： 이주현 , 강윤호 , 이은혜
- 申请人： 삼성전자주식회사
- 申请人地址： ***, Samsung-ro, Yeongtong-gu, Suwon-si, Gyeonggi-do, Republic of Korea
- 专利权人： 삼성전자주식회사
- 当前专利权人： 삼성전자주식회사
- 当前专利权人地址： ***, Samsung-ro, Yeongtong-gu, Suwon-si, Gyeonggi-do, Republic of Korea
- 代理人： 리앤목특허법인; 이해영
- 主分类号： B82B1/00
- IPC分类号： B82B1/00 ; B82B3/00 ; B82Y40/00
개시되는 나노입자의 적층 구조는 기판; 상기 기판 위에 형성되는 나노입자;를 구비하고, 상기 나노입자는 실리사이드(silicide)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 나노입자의 제조 방법은 요구되는 크기의 나노입자가 형성될 수 있도록, 그 크기에 대응되는 두께로 실리콘 소스층(Si source layer)을 형성하는 단계; 소정 금속과 실리콘으로 이루어진 나노입자(nanoparticle)를 형성하는 단계; 상기 나노입자를 상기 실리콘 소스층에 증착시키는 단계; 및 상기 나노입자를 성장시켜 실리사이드(silicide)를 형성하는 단계;를 포함한다.
본 발명에 따른 나노입자의 적층 구조 및 그 제조 방법에 의하면, 실리콘 소스층의 두께를 조절하여 나노입자의 크기를 조절할 수 있으므로, 요구되는 크기의 나노입자를 용이하게 수득할 수 있는 장점이 있다.
나노입자, 실리사이드, 금
The laminated structure and a manufacturing method of the nanoparticles is disclosed. The laminated structure of the nanoparticles disclosed is a substrate; Nanoparticles formed over the substrate having a, wherein the nanoparticle is characterized in that it comprises a silicide (silicide). In addition, a method for producing the nano-particles to form a silicon source layer (Si source layer) with a thickness corresponding to the size, so that the formation of the nanoparticles is required size; Forming a nano-particle (nanoparticle) made of a predetermined metal and silicon; Depositing silicon on the source layer to the nanoparticle; And by growing the nanoparticles to form a silicide (silicide); and a. According to the laminated structure and a manufacturing method of the nanoparticles according to the present invention, by adjusting the thickness of the silicon source layer can be adjusted the size of the nanoparticles, there is an advantage that can be easily obtained nanoparticles of the desired size. Nanoparticles, silicide, gold
公开/授权文献:
- KR1020060092770A 나노입자의 적층 구조 및 그 제조 방법 公开/授权日：2006-08-23