基本信息:
- 专利标题： 다채널 장파장 수직공진 표면방출 레이저 어레이 및 그제조방법
- 专利标题（英）：Multiple wavelength and long-wavelength vertical cavity surface emitting laser array and fabricating method the same
- 专利标题（中）：다채널장파장수직공진표면방이저어레이및그제조방
- 申请号：KR1020020002534 申请日：2002-01-16
- 公开(公告)号：KR100460839B1 公开(公告)日：2004-12-09
- 发明人： 유병수 , 김종희 , 한원석 , 권오균 , 주영구 , 신재헌
- 申请人： 한국전자통신연구원
- 申请人地址： 대전광역시 유성구 가정로 *** (가정동)
- 专利权人： 한국전자통신연구원
- 当前专利权人： 한국전자통신연구원
- 当前专利权人地址： 대전광역시 유성구 가정로 *** (가정동)
- 代理人： 이해영; 이영필
- 主分类号： H01S5/183
- IPC分类号： H01S5/183
摘要：
PURPOSE: A multi-channel long wavelength VCSEL array and a fabricating method thereof are provided to form constantly an interval of a laser oscillation wavelength by controlling a resonant interval. CONSTITUTION: A multi-channel long wavelength VCSEL array includes a semiconductor substrate(10), a bottom mirror(20), an active region(30), a current limit layer(40), a superlattice control layer(50), and a top mirror(60). The bottom mirror is formed on the semiconductor substrate. The active region is formed on the bottom mirror. The current limit layer is formed on the active region in order to limit efficiently the current and enhance the efficiency of the heat transfer. The superlattice control layer is formed on the current limit layer in order to control an interval of laser oscillation wavelength. The top mirror is formed on the superlattice control layer.
摘要（中）：
目的：提供多通道长波长VCSEL阵列及其制造方法，以通过控制谐振间隔恒定地形成激光振荡波长的间隔。 一种多通道长波长VCSEL阵列，包括半导体衬底（10），底部反射镜（20），有源区（30），限流层（40），超晶格控制层（50）和 顶部镜子（60）。 底部反射镜形成在半导体衬底上。 有源区形成在底部反射镜上。 电流限制层形成在有源区域上，以便有效地限制电流并提高传热效率。 在限流层上形成超晶格控制层，以控制激光振荡波长的间隔。 顶部镜子形成在超晶格控制层上。
公开/授权文献:
- KR1020030062110A 다채널 장파장 수직공진 표면방출 레이저 어레이 및 그제조방법 公开/授权日：2003-07-23