基本信息:
- 专利标题: クライオポンプおよびクライオパネル
- 申请号:JP2019030302 申请日:2019-08-01
- 公开(公告)号:JPWO2020049916A1 公开(公告)日:2021-08-12
- 发明人: ▲高▼橋 走
- 申请人: 住友重機械工業株式会社
- 申请人地址: 東京都品川区大崎二丁目1番1号
- 专利权人: 住友重機械工業株式会社
- 当前专利权人: 住友重機械工業株式会社
- 当前专利权人地址: 東京都品川区大崎二丁目1番1号
- 代理人: 森下 賢樹; 富所 輝観夫
- 优先权: JP2018167177 2018-09-06
- 主分类号: F04B37/16
- IPC分类号: F04B37/16 ; F04B37/08
摘要:
クライオポンプ(10)は、吸気口(12)を通じて被排気気体が直線的に到達可能な露出領域(68)と、吸気口(12)を通じて被排気気体が直線的に到達不能な非露出領域(69)と、を備える第2段クライオパネルアセンブリ(20)を備える。非露出領域(69)は、非凝縮性気体を吸着可能な吸着領域(66)を有し、露出領域(68)は、取り外し可能な保護面(76)で被覆されている。取り外し可能な保護面(76)は、露出領域(68)に剥離可能に接着された樹脂製または金属製の保護層によって提供されてもよい。
摘要(英):
A cryopump includes a cryopanel assembly which includes an exposed area that a gas to be pumped can linearly reach through a cryopump intake port and a non-exposed area that the gas to be pumped cannot linearly reach through the cryopump intake port, in which the non-exposed area has an adsorption area capable of adsorbing a non-condensable gas, and the exposed area is covered with a removable protective surface.
公开/授权文献:
- JP6674058B2 経皮薬物送達のためのイオン性液体 公开/授权日:2020-04-01
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
F | 机械工程;照明;加热;武器;爆破 |
--F04 | 液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵 |
----F04B | 液体变容式机械;泵 |
------F04B37/00 | 其相关特征不包含在F04B25/00至F04B35/00组中或与上述各组无关的泵 |
--------F04B37/02 | .通过吸收或吸附而抽出 |
----------F04B37/14 | ..获得高真空 |
------------F04B37/16 | ...消除死区的装置 |