基本信息:
- 专利标题： 圧電素子の製造方法及び圧電素子
- 专利标题（英）：JPWO2017141996A1 - The manufacturing method and the piezoelectric element of the piezoelectric element
- 申请号：JP2017005599 申请日：2017-02-15
- 公开(公告)号：JPWO2017141996A1 公开(公告)日：2018-12-06
- 发明人： 多田 一成 , 清水 直紀
- 申请人： コニカミノルタ株式会社
- 申请人地址： 東京都千代田区丸の内二丁目7番2号
- 专利权人： コニカミノルタ株式会社
- 当前专利权人： コニカミノルタ株式会社
- 当前专利权人地址： 東京都千代田区丸の内二丁目7番2号
- 代理人： 福田 充広
- 优先权： JP2016029373 2016-02-18
- 主分类号： H01L41/04
- IPC分类号： H01L41/04 ; H01L41/113 ; H01L41/187 ; H01L41/338 ; H01L41/337 ; H01L41/332
摘要：
幅が小さくアスペクト比が大きい柱状微細構造体を形成することができる圧電素子の製造方法を提供する。幅30μm以下で高さ80μm以上の板状又は柱状に形成された複数の立体構造21,321を有してなる立体構造群20を備える圧電素子102の製造方法である。この製造方法は、Pb系圧電材料で形成されたバルク材81に板状又は柱状の複数の前駆形状82aを加工する第1工程と、エッチング液を用いて前駆形状82aの幅を所定量まで減少させる第2工程とを備える。
摘要（英）：
To provide a method of manufacturing a piezoelectric element capable width to form a small aspect ratio is large columnar microstructure. A method for manufacturing a piezoelectric element 102 having a three-dimensional structure group 20 comprising a plurality of three-dimensional structures 21,321 formed height 80μm or more plate-like or columnar in width 30μm or less. This manufacturing method decreases the first step of processing a plurality of precursors shape 82a of the plate-shaped or columnar in bulk material 81 formed by Pb-based piezoelectric material, the width of the precursor shape 82a using an etchant to a predetermined amount and a second step of.
公开/授权文献:
- JP3217513U 容器入り乾燥エノキ茸含有ジュレ 公开/授权日：2018-08-16
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H04 | 电通信技术 |
| ----H04R | 扬声器、送话器、唱机拾音器或类似的传感器 |
| ------H01L41/02 | .零部件 |
| --------H01L41/04 | ..压电器件的或电致伸缩器件的 |