基本信息:
- 专利标题： 感光性樹脂組成物、該樹脂組成物を用いたパターン硬化膜の製造方法及び電子部品
- 专利标题（英）：The photosensitive resin composition, manufacturing method and electronic component of the pattern cured film using the resin composition
- 专利标题（中）：光敏树脂组合物，制造方法以及使用该树脂组合物的图案的固化膜的电子元件
- 申请号：JP2013520434 申请日：2012-06-13
- 公开(公告)号：JPWO2012172793A1 公开(公告)日：2015-02-23
- 发明人： 峯岸 知典 , 知典 峯岸 , 加藤木 茂樹 , 茂樹 加藤木
- 申请人： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
- 专利权人： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
- 当前专利权人： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
- 优先权： JP2011133427 2011-06-15
- 主分类号： G03F7/085
- IPC分类号： G03F7/085 ; C08G73/22 ; G03F7/004 ; G03F7/023 ; G03F7/40 ; H01L21/027
摘要：
(a)ポリベンゾオキサゾール前駆体と、(b)感光剤と、(c)溶剤と、(d)架橋剤と、(e)分子内に水酸基、アルコキシ基又はカルボキシル基を持つ複素環状化合物を含有する感光性樹脂組成物。
摘要（中）：
（A）聚苯并恶唑前体，（b）含有感光剂，和（c）溶剂，和（d）交联剂，具有羟基基团，烷氧基或（e）中具有羧基的杂环化合物的分子 感光性树脂组合物。
摘要（英）：
(A) a polybenzoxazole precursor, (b) containing a photosensitive agent, and (c) a solvent, and (d) a crosslinking agent, a heterocyclic compound having a hydroxyl group, an alkoxy group or a carboxyl group in (e) Molecular photosensitive resin composition.
公开/授权文献:
- JP5920345B2 感光性樹脂組成物、該樹脂組成物を用いたパターン硬化膜の製造方法及び電子部品 公开/授权日：2016-05-18