基本信息:
- 专利标题： スルホン化合物、スルホン酸塩および感放射線性樹脂組成物
- 专利标题（英）：Sulfone compounds, sulfonate and radiation-sensitive resin composition
- 申请号：JP2009538082 申请日：2008-10-14
- 公开(公告)号：JPWO2009051088A1 公开(公告)日：2011-03-03
- 发明人： 琢磨 江畑 , 琢磨 江畑 , 永井 智樹 , 智樹 永井
- 申请人： Jsr株式会社 , Jsr株式会社
- 专利权人： Jsr株式会社,Jsr株式会社
- 当前专利权人： Jsr株式会社,Ｊｓｒ株式会社
- 优先权： JP2007267700 2007-10-15
- 主分类号： C07C309/19
- IPC分类号： C07C309/19 ; C07C381/12 ; G03F7/004 ; G03F7/039 ; H01L21/027
摘要：
一般式(1)で表される部分構造を有する化合物である。(一般式(1)中、R1はそれぞれ独立に水素原子または炭化水素基、R2は炭化水素基、Rfはフッ素原子またはパーフルオロアルキル基、Lは0〜4の整数、nは0〜10の整数、mは1〜4の整数を示す。)
摘要（英）：
It is a compound having a partial structure represented by the general formula (1).
(In the general formula (1),
R 1 each independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group,
R 2 is a hydrocarbon group, Rf is a fluorine atom or a perfluoroalkyl group, L is an integer of 0 to 4, n represents 0 10 integer, m is an integer of 1-4.)
公开/授权文献:
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C07 | 有机化学 |
| ----C07C | 无环或碳环化合物 |
| ------C07C309/00 | 磺酸；其卤化物、酯或酐 |
| --------C07C309/01 | .磺酸 |
| ----------C07C309/02 | ..含有连接非环碳原子的磺基 |
| ------------C07C309/19 | ...饱和含环碳架的 |