基本信息:
- 专利标题： タングステンのためのケミカルメカニカルポリッシング法
- 申请号：JP2019516240 申请日：2016-09-29
- 公开(公告)号：JP6936315B2 公开(公告)日：2021-09-15
- 发明人： ホ,リン−チェン , ツァイ,ウェイ−ウェン , リー,チェン−ピン
- 申请人： ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ シーエムピー ホウルディングス インコーポレイテッド
- 申请人地址： アメリカ合衆国 デラウェア州 19713、ニューアーク、ベルヴュー・ロード 451
- 专利权人： ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ シーエムピー ホウルディングス インコーポレイテッド
- 当前专利权人： ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ シーエムピー ホウルディングス インコーポレイテッド
- 当前专利权人地址： アメリカ合衆国 デラウェア州 19713、ニューアーク、ベルヴュー・ロード 451
- 代理人： 特許業務法人 津国
- 国际申请： CN2016100710 JP 2016-09-29
- 国际公布： WO2018058397 JP 2018-04-05
- 主分类号： B24B37/00
- IPC分类号： B24B37/00 ; B24B37/24 ; C09G1/02 ; C09K3/14 ; H01L21/304
公开/授权文献:
- JP2019537245A タングステンのためのケミカルメカニカルポリッシング法 公开/授权日：2019-12-19