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专利标题：
様々なグレーチングを有する回折光学素子を形成するためのシステムおよび方法
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申请号：JP2020537137
申请日：2019-01-03
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公开(公告)号：JP6898531B2
公开(公告)日：2021-07-07
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发明人：
エヴァンズ, モーガン
, マイヤー ティマーマン タイセン, ラトガー
, オルソン, ジョセフ
, クルンチ, ピーター エフ.
, マシー, ロバート
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申请人：
バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド
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申请人地址：
アメリカ合衆国マサチューセッツ州01930,グロスター,ドリー・ロード35
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专利权人：
バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド
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当前专利权人：
バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド
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当前专利权人地址：
アメリカ合衆国マサチューセッツ州01930,グロスター,ドリー・ロード35
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代理人：
園田・小林特許業務法人
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优先权：
US15/865,943 2018-01-09
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国际申请：
US2019012188 JP 2019-01-03
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国际公布：
WO2019139814 JP 2019-07-18
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主分类号：
G02B5/18
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IPC分类号：
G02B5/18
