基本信息:
- 专利标题： 感光性樹脂組成物、硬化レリーフパターンの製造方法及び半導体装置
- 申请号：JP2017249864 申请日：2017-12-26
- 公开(公告)号：JP6806665B2 公开(公告)日：2021-01-06
- 发明人： 頼末 友裕 , 井上 泰平 , 井戸 義人 , 中村 光孝 , 湯ノ口 智恵 , 笹野 大輔 , 佐々木 隆弘
- 申请人： 旭化成株式会社
- 申请人地址： 東京都千代田区有楽町一丁目1番2号
- 专利权人： 旭化成株式会社
- 当前专利权人： 旭化成株式会社
- 当前专利权人地址： 東京都千代田区有楽町一丁目1番2号
- 代理人： 青木 篤; 三橋 真二; 中村 和広; 齋藤 都子; 三間 俊介
- 优先权： JP2016073576 2016-03-31 JP2016084497 2016-04-20 JP2016085535 2016-04-21 JP2016086482 2016-04-22 JP2016094177 2016-05-09
- 主分类号： G03F7/004
- IPC分类号： G03F7/004 ; G03F7/031 ; G03F7/40 ; G03F7/023 ; G03F7/09 ; G03F7/38 ; G03F7/20 ; C08F290/14 ; C08F2/50 ; C08G73/12 ; G03F7/027
公开/授权文献:
- JP2018101138A 感光性樹脂組成物、硬化レリーフパターンの製造方法及び半導体装置 公开/授权日：2018-06-28