基本信息:
- 专利标题： 金属ナノ粒子生成装置、及び金属ナノ粒子ガスデポジション装置
- 申请号：JP2016080231 申请日：2016-04-13
- 公开(公告)号：JP6715064B2 公开(公告)日：2020-07-01
- 发明人： 青柳 昌宏 , 仲川 博 , 渡辺 直也 , 菊地 克弥 , 根本 俊介 , 五味 善宏 , 斉藤 伊織
- 申请人： 国立研究開発法人産業技術総合研究所 , ミクナスファインエンジニアリング株式会社
- 申请人地址： 東京都千代田区霞が関1−3−1
- 专利权人： 国立研究開発法人産業技術総合研究所,ミクナスファインエンジニアリング株式会社
- 当前专利权人： 国立研究開発法人産業技術総合研究所,ミクナスファインエンジニアリング株式会社
- 当前专利权人地址： 東京都千代田区霞が関1−3−1
- 代理人： 稲葉 良幸; 大貫 敏史; 小澁 高弘
- 优先权： JP2015084214 2015-04-16
- 主分类号： C23C14/14
- IPC分类号： C23C14/14 ; C23C14/22 ; B82Y40/00 ; C23C14/00
公开/授权文献:
- JP2016204751A 金属ナノ粒子生成装置、及び金属ナノ粒子ガスデポジション装置 公开/授权日：2016-12-08