基本信息:
- 专利标题： リソグラフィー用洗浄液及び洗浄方法
- 申请号：JP2016030348 申请日：2016-02-19
- 公开(公告)号：JP6630183B2 公开(公告)日：2020-01-15
- 发明人： 菅原 まい , 横井 滋
- 申请人： 東京応化工業株式会社
- 申请人地址： 神奈川県川崎市中原区中丸子150番地
- 专利权人： 東京応化工業株式会社
- 当前专利权人： 東京応化工業株式会社
- 当前专利权人地址： 神奈川県川崎市中原区中丸子150番地
- 代理人： 正林 真之
- 主分类号： C11D7/32
- IPC分类号： C11D7/32 ; C11D17/08 ; C11D7/50 ; C23G1/18 ; H01L21/027 ; H01L21/308 ; H01L21/304
公开/授权文献:
- JP2017147416A リソグラフィー用洗浄液及び洗浄方法 公开/授权日：2017-08-24
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C11 | 动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛 |
| ----C11D | 洗涤剂组合物；用单一物质作为洗涤剂；皂或制皂；树脂皂；甘油的回收 |
| ------C11D7/00 | 主要以非表面活性化合物为基料的洗涤剂组合物 |
| --------C11D7/02 | .无机化合物 |
| ----------C11D7/32 | ..含氮的 |