基本信息:
- 专利标题： 融液上に成長した結晶シートの厚さを制御する装置、方法およびシステム
- 申请号：JP2017519522 申请日：2015-09-23
- 公开(公告)号：JP6615875B2 公开(公告)日：2019-12-04
- 发明人： ピーター エル ケラーマン , フレデリック エム カールソン , デイビッド マレル , ブライアン マッキントッシュ , ナンディシュ デサイ
- 申请人： ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド
- 申请人地址： アメリカ合衆国 マサチューセッツ州 01930 グローチェスター ドリー ロード 35
- 专利权人： ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド
- 当前专利权人： ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド
- 当前专利权人地址： アメリカ合衆国 マサチューセッツ州 01930 グローチェスター ドリー ロード 35
- 代理人： 杉村 憲司; 杉村 光嗣; 石川 雅章
- 优先权： US14/517,217 2014-10-17
- 国际申请： US2015051709 JP 2015-09-23
- 国际公布： WO2016060808 JP 2016-04-21
- 主分类号： C30B29/06
- IPC分类号： C30B29/06 ; C30B15/06
公开/授权文献:
- JP2017533165A 融液上に成長した結晶シートの厚さを制御する装置および方法 公开/授权日：2017-11-09