基本信息:
- 专利标题： シリコン融液内の熱流を制御する装置
- 申请号：JP2016558387 申请日：2015-03-17
- 公开(公告)号：JP6613243B2 公开(公告)日：2019-11-27
- 发明人： ピーター エル ケラーマン , フレデリック エム カールソン , デイビッド マレル , アラ モラディアン , ナンディシュ デサイ
- 申请人： ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド
- 申请人地址： アメリカ合衆国 マサチューセッツ州 01930 グローチェスター ドリー ロード 35
- 专利权人： ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド
- 当前专利权人： ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド
- 当前专利权人地址： アメリカ合衆国 マサチューセッツ州 01930 グローチェスター ドリー ロード 35
- 代理人： 杉村 憲司; 石川 雅章
- 优先权： US14/227,006 2014-03-27
- 国际申请： US2015020901 JP 2015-03-17
- 国际公布： WO2015148181 JP 2015-10-01
- 主分类号： C30B29/06
- IPC分类号： C30B29/06
公开/授权文献:
- JP2017512739A シリコン融液内の熱流を制御する装置 公开/授权日：2017-05-25