基本信息:
- 专利标题： 融液を処理する装置、融液内で熱流を制御するシステム及び融液を処理する方法
- 申请号：JP2016566977 申请日：2015-05-12
- 公开(公告)号：JP6553089B2 公开(公告)日：2019-07-31
- 发明人： フレデリック エム カールソン , ピーター エル ケラーマン , デイビッド マレル , ブライアン マッキントッシュ , ナンディシュ デサイ
- 申请人： ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド
- 申请人地址： アメリカ合衆国 マサチューセッツ州 01930 グローチェスター ドリー ロード 35
- 专利权人： ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド
- 当前专利权人： ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド
- 当前专利权人地址： アメリカ合衆国 マサチューセッツ州 01930 グローチェスター ドリー ロード 35
- 代理人： 杉村 憲司; 福尾 誠; 石川 雅章
- 优先权： US14/275,770 2014-05-12
- 国际申请： US2015030319 JP 2015-05-12
- 国际公布： WO2015175497 JP 2015-11-19
- 主分类号： C30B29/06
- IPC分类号： C30B29/06
公开/授权文献:
- JP2017515778A 融液処理装置 公开/授权日：2017-06-15