基本信息:
- 专利标题： 半導体製造システムおよびその運転方法
- 专利标题（英）：JP6391171B2 - Semiconductor manufacturing system and operation method thereof
- 申请号：JP2015175654 申请日：2015-09-07
- 公开(公告)号：JP6391171B2 公开(公告)日：2018-09-19
- 发明人： 松尾 和展
- 申请人： 東芝メモリ株式会社
- 申请人地址： 東京都港区芝浦一丁目1番1号
- 专利权人： 東芝メモリ株式会社
- 当前专利权人： 東芝メモリ株式会社
- 当前专利权人地址： 東京都港区芝浦一丁目1番1号
- 代理人： 永井 浩之; 中村 行孝; 佐藤 泰和; 朝倉 悟; 関根 毅; 赤岡 明; 山ノ井 傑
- 主分类号： C23C16/44
- IPC分类号： C23C16/44 ; H01L21/31
公开/授权文献:
- JP2017054850A 半導体製造システムおよびその運転方法 公开/授权日：2017-03-16