基本信息:
- 专利标题： スクライビングスロットのストリップ幅を検査するための構造及び方法
- 专利标题（英）：JP6278978B2 - Structure and method for inspecting a strip width of scribing slot
- 申请号：JP2015554030 申请日：2013-12-31
- 公开(公告)号：JP6278978B2 公开(公告)日：2018-02-14
- 发明人： ファン ウェイ
- 申请人： シーエスエムシー テクノロジーズ エフエイビー2 カンパニー リミテッド
- 申请人地址： 中華人民共和国 214028 ジアンスー ウーシー ニュー ディストリクト シンチョウ ロード ナンバー 8
- 专利权人： シーエスエムシー テクノロジーズ エフエイビー2 カンパニー リミテッド
- 当前专利权人： シーエスエムシー テクノロジーズ エフエイビー2 カンパニー リミテッド
- 当前专利权人地址： 中華人民共和国 214028 ジアンスー ウーシー ニュー ディストリクト シンチョウ ロード ナンバー 8
- 代理人： 西島 孝喜; 弟子丸 健; 田中 伸一郎; 松下 満; 倉澤 伊知郎; 丹澤 一成
- 优先权： CN201310025250.6 2013-01-23
- 国际申请： CN2013091022 JP 2013-12-31
- 国际公布： WO2014108035 JP 2014-07-17
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; H01L21/66
公开/授权文献:
- JP2016506086A スクライビングスロットのストリップ幅を検査するための構造及び方法 公开/授权日：2016-02-25