基本信息:
- 专利标题： 非晶質形成能を有する結晶質合金、その製造方法、スパッタリング用合金ターゲット及びその製造方法
- 专利标题（英）：Crystalline alloy, a manufacturing method thereof, an alloy target and a manufacturing method thereof for sputtering having an amorphous forming ability
- 申请号：JP2015561289 申请日：2014-06-05
- 公开(公告)号：JP6154918B2 公开(公告)日：2017-06-28
- 发明人： シン，ソンヨン , ムン，キョンギル , ソン，チュヒョン , イ，チャンヒュン
- 申请人： コリア インスティテュート オブ インダストリアル テクノロジーKorea Institute Of Industrial Technology , コリア インスティテュート オブ インダストリアル テクノロジーKorea Institute Of Industrial Technology
- 专利权人： コリア インスティテュート オブ インダストリアル テクノロジーKorea Institute Of Industrial Technology,コリア インスティテュート オブ インダストリアル テクノロジーKorea Institute Of Industrial Technology
- 当前专利权人： コリア インスティテュート オブ インダストリアル テクノロジーＫｏｒｅａ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ Ｏｆ Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ,コリア インスティテュート オブ インダストリアル テクノロジーＫｏｒｅａ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ Ｏｆ Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ
- 优先权： KR20130065244 2013-06-07
- 主分类号： C22C16/00
- IPC分类号： C22C16/00 ; B22D11/00 ; B22D11/06 ; B22D27/04 ; C22C45/10 ; C22F1/18 ; C23C14/34
公开/授权文献:
- JP2016512286A 非晶質形成能を有する結晶質合金、その製造方法、スパッタリング用合金ターゲット及びその製造方法 公开/授权日：2016-04-25