基本信息:
- 专利标题: 移動型製造装置の設置機構、固定構造及び移動型製造装置
- 专利标题(英):Installation mechanism of the mobile production unit, the fixed structure and the mobile production unit
- 申请号:JP2013547227 申请日:2012-11-30
- 公开(公告)号:JP6127244B2 公开(公告)日:2017-05-17
- 发明人: 原 史朗 , 中野 禅 , 前川 仁 , 二川 真士 , 福田 孝弘
- 申请人: 国立研究開発法人産業技術総合研究所 , 株式会社デザインネットワーク
- 申请人地址: 東京都千代田区霞が関1−3−1
- 专利权人: 国立研究開発法人産業技術総合研究所,株式会社デザインネットワーク
- 当前专利权人: 国立研究開発法人産業技術総合研究所,株式会社デザインネットワーク
- 当前专利权人地址: 東京都千代田区霞が関1−3−1
- 代理人: 佐野 弘; 石井 明夫
- 优先权: JP2011263161 2011-12-01
- 国际申请: JP2012081037 JP 2012-11-30
- 国际公布: WO2013081092 JP 2013-06-06
- 主分类号: H01L21/02
- IPC分类号: H01L21/02 ; F16M11/20 ; B23Q1/00
公开/授权文献:
- JPWO2013081092A1 移動型製造装置の設置機構、固定構造及び移動型製造装置 公开/授权日:2015-04-27
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
H | 电学 |
--H01 | 基本电气元件 |
----H01L | 半导体器件;其他类目未包含的电固体器件 |
------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
--------H01L21/02 | .半导体器件或其部件的制造或处理 |