基本信息:

• 专利标题： 微細構造体の形成方法
• 专利标题（英）：Method of forming a fine structure
• 专利标题（中）：形成微细结构的方法
• 申请号：JP2012087970 申请日：2012-04-06
• 公开(公告)号：JP6077756B2 公开(公告)日：2017-02-08
• 发明人： 脇岡 寛之 , 山本 敏 , 杉山 正和
• 申请人： 株式会社フジクラ ,  国立大学法人 東京大学
• 申请人地址： 東京都江東区木場1丁目5番1号
• 专利权人： 株式会社フジクラ,国立大学法人 東京大学
• 当前专利权人： 株式会社フジクラ,国立大学法人 東京大学
• 当前专利权人地址： 東京都江東区木場1丁目5番1号
• 代理人： 志賀 正武; 棚井 澄雄; 五十嵐 光永; 小室 敏雄; 清水 雄一郎
• 主分类号： B23K26/55
• IPC分类号： B23K26/55 ; B23K26/00 ; B23K26/046 ; C03C15/00 ; C03C23/00 ; G03F7/20 ; B23K26/402

公开/授权文献:

• JP2013215767A  Method for forming fine structure 公开/授权日：2013-10-24

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