基本信息:
- 专利标题： ダイシング装置及びダイシング方法
- 专利标题（英）：Dicing apparatus and dicing method
- 申请号：JP2015534228 申请日：2014-08-26
- 公开(公告)号：JP6039084B2 公开(公告)日：2016-12-07
- 发明人： 藤田 隆 , 渡邉 純二
- 申请人： 株式会社東京精密 , 渡邉 純二
- 申请人地址： 東京都八王子市石川町2968−2
- 专利权人： 株式会社東京精密,渡邉 純二
- 当前专利权人： 株式会社東京精密,渡邉 純二
- 当前专利权人地址： 東京都八王子市石川町2968−2
- 代理人： 松浦 憲三
- 优先权： JP2013174955 2013-08-26 JP2014039308 2014-02-28
- 国际申请： JP2014072268 JP 2014-08-26
- 国际公布： WO2015029988 JP 2015-03-05
- 主分类号： B24B27/06
- IPC分类号： B24B27/06 ; B24D5/12 ; H01L21/301
公开/授权文献:
- JPWO2015029988A1 ダイシング装置及びダイシング方法 公开/授权日：2017-03-02