基本信息:
- 专利标题： 荷電粒子ビーム発生装置、荷電粒子線装置、高電圧発生装置、および高電位装置
- 专利标题（英）：Charged particle beam generator, a charged particle beam apparatus, high-voltage generator, and a high potential device
- 专利标题（中）：的带电粒子束发生器，带电粒子束的装置，高电压发生器和高电位装置
- 申请号：JP2012132103 申请日：2012-06-11
- 公开(公告)号：JP5959326B2 公开(公告)日：2016-08-02
- 发明人： 大西 崇 , 渡辺 俊一 , 金田 実
- 申请人： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
- 申请人地址： 東京都港区西新橋一丁目24番14号
- 专利权人： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
- 当前专利权人： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
- 当前专利权人地址： 東京都港区西新橋一丁目24番14号
- 代理人： 平木 祐輔; 関谷 三男; 渡辺 敏章
- 主分类号： H01J37/067
- IPC分类号： H01J37/067 ; H01J37/16 ; H01J37/248
公开/授权文献:
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01J | 放电管或放电灯 |
| ------H01J37/00 | 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,如为了对其检验或加工的 |
| --------H01J37/02 | .零部件 |
| ----------H01J37/04 | ..电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 |
| ------------H01J37/06 | ...电子源；电子枪 |
| --------------H01J37/067 | ....枪部件的替换；电极的相互调整 |