基本信息:
- 专利标题： 成膜方法及び成膜装置
- 专利标题（英）：A film forming method and film forming apparatus
- 申请号：JP2012225535 申请日：2012-10-10
- 公开(公告)号：JP5941818B2 公开(公告)日：2016-06-29
- 发明人： 平野 智資
- 申请人： 日本発條株式会社
- 申请人地址： 神奈川県横浜市金沢区福浦3丁目10番地
- 专利权人： 日本発條株式会社
- 当前专利权人： 日本発條株式会社
- 当前专利权人地址： 神奈川県横浜市金沢区福浦3丁目10番地
- 代理人： 酒井 宏明
- 主分类号： C23C24/04
- IPC分类号： C23C24/04 ; B05B7/14
公开/授权文献:
- JP2014076426A Film forming method and film forming device 公开/授权日：2014-05-01