基本信息:
- 专利标题： 半導体圧力センサおよびその製造方法
- 专利标题（英）：Semiconductor pressure sensor and a method of manufacturing the same
- 申请号：JP2012268539 申请日：2012-12-07
- 公开(公告)号：JP5832417B2 公开(公告)日：2015-12-16
- 发明人： 佐藤 公敏
- 申请人： 三菱電機株式会社
- 申请人地址： 東京都千代田区丸の内二丁目7番3号
- 专利权人： 三菱電機株式会社
- 当前专利权人： 三菱電機株式会社
- 当前专利权人地址： 東京都千代田区丸の内二丁目7番3号
- 代理人： 特許業務法人深見特許事務所
- 主分类号： H01L29/84
- IPC分类号： H01L29/84 ; G01L9/00