基本信息:

• 专利标题： 荷電粒子線装置及び計測方法
• 专利标题（英）：A charged particle beam apparatus and measurement method
• 专利标题（中）：带电粒子束的装置和测量方法
• 申请号：JP2011163522 申请日：2011-07-26
• 公开(公告)号：JP5777967B2 公开(公告)日：2015-09-16
• 发明人： 牧野 浩士 , 数見 秀之 , 波田野 道夫
• 申请人： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
• 申请人地址： 東京都港区西新橋一丁目24番14号
• 专利权人： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
• 当前专利权人： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
• 当前专利权人地址： 東京都港区西新橋一丁目24番14号
• 代理人： ポレール特許業務法人
• 主分类号： H01J37/147
• IPC分类号： H01J37/147 ; H01J37/28 ; H01J37/244 ; G01B15/04 ; G01B15/00 ; H01J37/22

公开/授权文献:

• JP2013030277A  Charged particle beam apparatus and measuring method 公开/授权日：2013-02-07

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