基本信息:
- 专利标题： 誘導結合プラズマリアクタ内での高効率ガス解離のための方法及び装置
- 专利标题（英）：Method and apparatus for high efficiency gas dissociation in the inductively coupled plasma reactor
- 专利标题（中）：在电感耦合等离子体反应器高效率气体离解的方法和装置
- 申请号：JP2012530921 申请日：2010-09-09
- 公开(公告)号：JP5728482B2 公开(公告)日：2015-06-03
- 发明人： ナンゴイ ロイ シー , シン サラブジェート , ファル ジョン シー , パマルシィ シャーマ ブイ , クマル アジャイ
- 申请人： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド , APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
- 申请人地址： アメリカ合衆国 カリフォルニア州 95054 サンタ クララ バウアーズ アベニュー 3050
- 专利权人： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド,APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
- 当前专利权人： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド,APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
- 当前专利权人地址： アメリカ合衆国 カリフォルニア州 95054 サンタ クララ バウアーズ アベニュー 3050
- 代理人： 安齋 嘉章
- 优先权： US61/245,869 2009-09-25
- 国际申请： US2010048269 JP 2010-09-09
- 国际公布： WO2011037757 JP 2011-03-31
- 主分类号： H05H1/46
- IPC分类号： H05H1/46 ; H01L21/31 ; H01L21/3065