基本信息:
- 专利标题: 感光性組成物、硬化膜およびその製造方法ならびに電子部品
- 专利标题(英):Photosensitive composition, a cured film and a method of manufacturing as well as electronic components that
- 专利标题(中):感光性组合物,固化膜和其制造方法,以及电子部件,其
- 申请号:JP2013238814 申请日:2013-11-19
- 公开(公告)号:JP5673784B2 公开(公告)日:2015-02-18
- 发明人: 智彦 櫻井 , 智彦 櫻井 , 政暁 花村 , 政暁 花村
- 申请人: Jsr株式会社 , Jsr株式会社
- 专利权人: Jsr株式会社,Jsr株式会社
- 当前专利权人: Jsr株式会社,Jsr株式会社
- 优先权: JP2013032085 2013-02-21; JP2013238814 2013-11-19
- 主分类号: G03F7/023
- IPC分类号: G03F7/023 ; G03F7/004 ; G03F7/038 ; H01L21/027