基本信息:
- 专利标题: ガスワイピング方法及びガスワイピング装置
- 专利标题(英):Gas wiping method and gas wiping equipment
- 专利标题(中):气体擦拭方法和气体擦拭装置
- 申请号:JP2014505452 申请日:2013-09-24
- 公开(公告)号:JP5655978B2 公开(公告)日:2015-01-21
- 发明人: 進一 福岡 , 進一 福岡 , 義広 末宗 , 義広 末宗 , 大橋 徹 , 徹 大橋 , 陽子 天野 , 陽子 天野
- 申请人: 新日鐵住金株式会社
- 专利权人: 新日鐵住金株式会社
- 当前专利权人: 新日鐵住金株式会社
- 优先权: JP2012211120 2012-09-25
- 主分类号: C23C2/20
- IPC分类号: C23C2/20
公开/授权文献:
- JPWO2014050790A1 ガスワイピング方法及びガスワイピング装置 公开/授权日:2016-08-22