基本信息:
- 专利标题： 高周波電力を監視する計測システム及び方法
- 专利标题（英）：Measurement system and method for monitoring the high-frequency power
- 专利标题（中）：测量系统和方法，用于监视所述高频功率
- 申请号：JP2012253728 申请日：2012-11-19
- 公开(公告)号：JP5635059B2 公开(公告)日：2014-12-03
- 发明人： チョーエイリ，レイ , ヘッケルマン，トッド , ジェイ． カウムー，デイビッド , ジェイ． カウムー，デイビッド
- 申请人： エムケーエス インスツルメンツ,インコーポレイテッドMks Instruments,Inc. , エムケーエス インスツルメンツ,インコーポレイテッドMks Instruments,Inc.
- 专利权人： エムケーエス インスツルメンツ,インコーポレイテッドMks Instruments,Inc.,エムケーエス インスツルメンツ,インコーポレイテッドMks Instruments,Inc.
- 当前专利权人： エムケーエス インスツルメンツ，インコーポレイテッドＭｋｓ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ，Ｉｎｃ．,エムケーエス インスツルメンツ，インコーポレイテッドＭｋｓ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ，Ｉｎｃ．
- 优先权： US89473807 2007-03-14; US76329807 2007-06-14
- 主分类号： H05H1/00
- IPC分类号： H05H1/00 ; H05H1/46
公开/授权文献:
- JP2013084606A Multipoint voltage and current probe system 公开/授权日：2013-05-09