基本信息:
- 专利标题： 蒸着装置、蒸着方法、並びに、有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法
- 专利标题（英）：Deposition apparatus, deposition method, and manufacturing method of the organic electroluminescence display device
- 专利标题（中）：蒸镀装置，蒸镀法，以及生产有机电致发光显示装置的方法
- 申请号：JP2013126930 申请日：2013-06-17
- 公开(公告)号：JP5623598B2 公开(公告)日：2014-11-12
- 发明人： 通 園田 , 通 園田 , 伸一 川戸 , 伸一 川戸 , 井上 智 , 智 井上
- 申请人： シャープ株式会社
- 专利权人： シャープ株式会社
- 当前专利权人： シャープ株式会社
- 优先权： JP2010234625 2010-10-19
- 主分类号： C23C14/24
- IPC分类号： C23C14/24 ; H01L51/50 ; H05B33/04 ; H05B33/10 ; H05B33/12 ; H05B33/22