基本信息:
- 专利标题： Projection lens structure
- 申请号：JP2011504449 申请日：2009-04-15
- 公开(公告)号：JP5268170B2 公开(公告)日：2013-08-21
- 发明人： ウィーランド、マルコ・ヤン・ヤコ , ファン・フェーン、アレクサンダー・ヘンドリク・ビンセント
- 申请人： マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.
- 专利权人： マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.
- 当前专利权人： マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー．ブイ．
- 优先权： US4524308 2008-04-15
- 主分类号： H01L21/027
- IPC分类号： H01L21/027 ; H01J37/147 ; H01J37/305
公开/授权文献:
- JP2011517130A Projection lens structure 公开/授权日：2011-05-26
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L21/02 | .半导体器件或其部件的制造或处理 |
| ----------H01L21/027 | ..未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜 |