基本信息:
- 专利标题： Substrate storage container
- 申请号：JP2006325096 申请日：2006-12-01
- 公开(公告)号：JP4920387B2 公开(公告)日：2012-04-18
- 发明人： 裕樹 山岸 , 秀雄 工藤
- 申请人： 信越ポリマー株式会社 , 信越半導体株式会社
- 专利权人： 信越ポリマー株式会社,信越半導体株式会社
- 当前专利权人： 信越ポリマー株式会社,信越半導体株式会社
- 优先权： JP2006325096 2006-12-01
- 主分类号： H01L21/673
- IPC分类号： H01L21/673 ; B29C45/14 ; B29C45/16 ; B29K67/00 ; B29K69/00 ; B29L22/00 ; B65D1/24 ; B65D25/10 ; B65D85/86