基本信息:

• 专利标题： Pressure type flow rate control device
• 申请号：JP2009025342 申请日：2009-02-05
• 公开(公告)号：JP4852619B2 公开(公告)日：2012-01-11
• 发明人： 亮介 土肥 , 忠弘 大見 , 一彦 杉山 , 篤諮 松本 , 信一 池田 , 功二 西野
• 申请人： 忠弘 大見 ,  東京エレクトロン株式会社 ,  株式会社フジキン
• 专利权人： 忠弘 大見,東京エレクトロン株式会社,株式会社フジキン
• 当前专利权人： 忠弘 大見,東京エレクトロン株式会社,株式会社フジキン
• 优先权： JP2009025342 2009-02-05
• 主分类号： G05D7/06
• IPC分类号： G05D7/06 ; G01F1/00 ; G01F1/50 ; G05D16/20

公开/授权文献:

• JP2009116904A  Pressure type flow control device 公开/授权日：2009-05-28

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