基本信息:
- 专利标题： Film thickness distribution measuring method
- 申请号：JP2003161535 申请日：2003-06-06
- 公开(公告)号：JP4280559B2 公开(公告)日：2009-06-17
- 发明人： 根 慎 一 中 , 島 隆 之 桑 , 安 慧 蔡
- 申请人： トリニティ工業株式会社
- 专利权人： トリニティ工業株式会社
- 当前专利权人： トリニティ工業株式会社
- 优先权： JP2003161535 2003-06-06
- 主分类号： G01B21/08
- IPC分类号： G01B21/08 ; B05D3/00
公开/授权文献:
- JP2004361298A Method of measuring film thickness distribution 公开/授权日：2004-12-24
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B21/00 | 不适合于本小类其他组中所列的特定类型计量装置的计量设备或其零部件 |
| --------G01B21/02 | .用于计量长度、宽度或厚度 |
| ----------G01B21/08 | ..用于计量厚度 |