基本信息:
- 专利标题: Mems switch and a method of manufacturing the same
- 申请号:JP2006195341 申请日:2006-07-18
- 公开(公告)号:JP4260825B2 公开(公告)日:2009-04-30
- 发明人: 光 祐 南 , 寅 相 宋 , 錫 朮 尹 , 允 權 朴 , 相 勳 李 , 相 旭 權 , 榮 澤 洪 , 喜 文 鄭 , 徳 煥 金 , 載 興 金 , 鐘 碩 金
- 申请人: 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd.
- 专利权人: 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd.
- 当前专利权人: 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd.
- 优先权: KR20050064798 2005-07-18
- 主分类号: H01H61/00
- IPC分类号: H01H61/00 ; B81B3/00 ; B81C1/00 ; B81C3/00 ; H01H49/00
公开/授权文献:
- JP2007027126A Mems switch and its manufacturing method 公开/授权日:2007-02-01